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365体育备用网站光刻胶的主要功能是在整个区域进行化学或机械处理工艺时,保护光刻胶下的衬底部分。在光刻工艺中,光刻胶被均匀涂布在衬底上,经过曝光(通过局部光线照射产生潜影,改变局部光刻胶溶解度)、显影(利用显影液溶解改性后光刻胶的可溶部分)与刻蚀等工艺,将掩膜版上的图形转移到衬底上,形成与掩膜版完全对应的几何图形。在图案化的最后(即在光阻层的涂敷、成像、离子植入和蚀刻之后)进行下一工艺步骤之前,光刻胶残留物需彻底除去。在掺杂步骤中离子轰击会硬化光刻胶聚合物,使得光刻胶变得不易溶解从而更难除去。

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